六氟乙烷
六氟乙烷为电子工业等离子蚀刻工艺中重要的蚀刻气体。
六氟乙烷为电子工业等离子蚀刻工艺中重要的蚀刻气体。
| 化学名称 | 1,1,1,2,2,2-六氟乙烷 |
| 别名 | 六氟化碳, 六氟乙烷，全氟乙烷,卤碳116, PFC-116, CFC-116, R-116, Arcton 116, Halon 2600 |
| CAS号 | 76-16-4 |
| ELINCS号 | 200-939-8 |
| 化学式 | C2F6 |
| 结构式 | C2F6 |
| 分子量 | 138.01 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | 12600 |
| 大气寿命（年） | 10000 |
| TWA（8-hr, mg/m³） | 2.5 |
| 化学名称 | 1,1,1,2,2,2-六氟乙烷 |
| 沸点（℃） | -78.2 |
| 熔点（℃） | -100.6 |
| 液体密度（-78.2℃,g/cm3） | 1.6 |
| 蒸汽密度（空气=1） | 4.823 |
| 饱和蒸气压(psig) | 430.3 |
| 临界温度（℃） | 19.9 |
| 临界压力（bar） | 30.537 |
| 临界密度 （kg/m3） | 623.53 |
| 水中溶解度 | 不溶 |
| 闪点（℃） | 不适用（不可燃） |
| 可燃性（@21℃） | 不适用（不可燃） |
| 爆炸极限（%vol) | 不适用（不可燃） |
| 纯度 | 99.9% | 99.999% |
| 钢瓶规格 | 阀门 | 充装量 |
| 10L | CGA 660/DISS 716 | 10 kg |
| 44 L | CGA 660/DISS 716 | 43kg |
