3,3,3,4,4,4-六氟异丁烯
六氟异丁烯为电子工业等离子蚀刻工艺中新型蚀刻气体。
六氟异丁烯为电子工业等离子蚀刻工艺中新型蚀刻气体。
| 化学名称 | 六氟异丁烯 |
| 别名 | 2-三氟甲基-3,3,3-三氟丙烯，HFIB |
| CAS号 | 382-10-5 |
| ELINCS号 | 206-840-6 |
| 化学式 | C4H2F6 |
| 分子量 | 164.05 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | <1 天 |
| 大气寿命（天） | 17 |
| 化学名称 | 六氟异丁烯 |
| 沸点（℃） | 14.5 |
| 液体密度（@20℃，g/cm3） | 1.39 |
| 水中溶解度（@20℃） | 0.23 |
产品规格
| 纯度 | 99.9% | 99.99% |
| 钢瓶规格 | 阀门 | 充装量 |
| 10 L | CGA 660/DISS 716 | 7 kg |
| 44 L | CGA 660/DISS 716 | 30 kg |
